二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-35066 #293659196 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0190-35066 Reactor是一種創新而精密的反應器，用於固態沈積到晶圓上。反應堆的設計允許將材料均勻沈積到晶片上，用於各種半導體器件。該反應器能夠顯著提高沈積過程的速度和效率。AMAT 0190-35066反應堆的反應堆室是一種垂直的金屬室，由電阻加熱。它是一個由鋼合金制成的圓柱形腔室，塗有石墨層，可提供優異的隔熱效果。腔室還有一個可調的底板和一個頂部氣體入口，它連接到位於底部的氣體分配板。該腔室還包括一個石英窗口，允許直接查看過程。反應堆采用Univex XE微型對流爐作為熱源和過程控制器。該爐的溫度範圍從室溫到1700 °C不等，具有± 2 °C的溫度偏差，非常精確。該室還具有多種可編程功能，以使反應堆適應用戶的需要。此外，0190-35066反應堆還具備多種安全功能，以確保用戶安全。當溫度超過預先設定的限值時，腔室門會自動鎖定，並且腔室配有傳感器，可檢測爐膛氣體壓力和流量的任何變化。還存在一個熱傳感器,如果溫度超過最大限制,該傳感器將關閉腔室的電源。此外，腔室還設有可調節的安全計時器，在設定的時間段結束時自動終止過程。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS 0190-35066反應堆是一種先進可靠的反應堆，旨在提高沈積過程的速度和精度。它具有寬廣的溫度範圍、可調的壓板、可編程的功能以及眾多的安全特性，對於那些希望將材料可靠地沈積到晶片上的人們來說，這是一個絕佳的選擇。