二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 019009275 / 019009272 #293658103 待售

AMAT 019009275（光阻粉碎機）和APPLIED MATERIALS 019009272（光阻蝕刻機）是用於生產工業上的半導體器件的反應器--標準的300毫米（12英寸）晶片。這些反應堆利用高溫和精確的工藝控制來清潔和蝕刻用於高科技芯片制造的材料。019009275光致抗蝕劑asher是一種用於去除半導體晶片上的光致抗蝕劑的單晶片、大氣壓氧化性asher。它有一個高度均勻、大容量的氣體分配設備，確保整個腔室的操作氣氛均勻。矽室采用高溫、直接載荷、強制對流系統，使高溫處理速度更快。它還可以在加工前自動預熱基板，以減少熱應力。019009272光刻蝕刻器是一種單晶片、靜電聚焦、高真空蝕刻反應器。它從基板表面去除光致抗蝕劑以準備離子註入，以及形成集成電路制造的模式。它有一個保證均勻運行氣氛的高度均勻的氣體分配單元，以及一個強制對流輸送機器，以允許更高效的氣體輸送。腔室還設有冷卻銷架，以幫助維持晶圓溫度，和動態基板偏置，以幫助控制蝕刻速率和均勻性。這兩個流程均具有自動化的實時流程監控功能,以確保跨多個晶圓的流程一致性,以及用於分析正在運行的流程的高級診斷程序。工藝端點檢測工具也有助於減少抗反射塗層（ARC）的分解，而蝕刻後清洗資產則有助於減少晶圓表面的氧化物殘留。AMAT/APPLIED MATERIALS 019009275和019009272是一個可靠、高度統一、高效的半導體晶片加工平臺。它們為芯片制造提供可靠的高通量制造工藝,使其成為高科技芯片制造的理想選擇。