二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0195-01314 #293640089 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0195-01314是一種化學氣相沈積(CVD)反應器,設計用於半導體制造等行業的高性能薄膜塗層應用。該反應堆由AMAT Inc.制造,AMAT Inc.是全球半導體、顯示器和相關行業設備、服務和軟件的領先供應商。AMAT 0195-01314型號是一種多功能工具,提供卓越的膠片質量、均勻性和生產力。APPLIED MATERIALS 0195-01314的反應器室由高純度材料如不銹鋼、石英等先進合金構成,以確保工藝性能最佳、清潔。腔室的設計可以容納各種基材尺寸和配置,包括晶圓、面板和其他平面或三維表面。腔室設有多個氣體入口,用於精確控制工藝大氣和氣流分布。反應堆配備高溫加熱設備,通常使用射頻(RF)或電阻加熱,以達到薄膜沈積所需的工藝溫度。加熱系統在整個基板表面提供良好的溫度均勻性,對於實現一致的薄膜性能和厚度至關重要。反應器的溫度範圍可以控制在嚴格的公差範圍內,以滿足不同膜沈積過程的具體要求。0195-01314具有精密的氣體輸送裝置,能夠在沈積過程中精確計量和混合過程中的氣體。氣體輸送機包括質量流量控制器、氣體管線、閥門等確保準確控制氣體流量和成分的部件。這種精確的氣體輸送能力對於達到理想的膜組成、化學計量和沈積速率至關重要。反應堆配有先進的真空工具,能夠快速抽空和疏散腔室,以達到所需的工藝壓力條件。真空資產包括高容量渦輪分子泵、低溫泵和其他真空硬件,在沈積過程中將腔室維持在所需的基礎壓力水平。真空模型有助於最大限度地減少汙染,確保高質量薄膜沈積的清潔工藝環境。AMAT/APPLIED MATERIALS 0195-01314的控制設備以先進的軟件和硬件技術為基礎,能夠實時精確監測和調整工藝參數。控制系統包括一個用戶友好的界面,其中包含流程變量的圖形可視化、警報以及用於流程優化和故障排除的數據記錄功能。該單元還具有高級算法,用於流程配方管理、自動化以及與外部晶圓廠控制系統的連接。最後,AMAT 0195-01314是一種先進的CVD反應器,為半導體及相關行業的薄膜沈積提供了先進的能力。這種反應器具有強大的設計、精確的工藝控制和高可靠性,非常適合需要高性能塗層解決方案的各種應用。APPLICED MATERIALS不斷創新和改進其設備產品,以滿足半導體行業不斷變化的需求,並推動薄膜沈積工藝的技術進步。
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