二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0195-07994 #293663243 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0195-07994是一種雙充氣反應堆，設計用於半導體和復合半導體行業的沈積過程。它專為矽蝕刻工藝而設計，但也可用於其他材料。這種反應堆是高度可配置的，允許用戶為他們想要的過程定制它。它有兩個單獨的氣體通道，單獨絕緣，以便更好地控制溫度的腔室。這兩個密室配有一個單獨的潔凈室安全環境，用戶可以在將它們運到反應堆之前儲存和準備他們的工藝氣體和樣品。AMAT 0195-07994反應堆具有多種氣體供料，便於同時引入多種氣體的實驗。氣體輸送設備效率高，具有可調流量調節器，可實現最優控制。此外，用戶可以分別控制每種氣體的流量，為有針對性的實驗提供精確的輸送。反應堆還可以在低壓環境中運行，這在使用乙烯和碳氟化合物氣體時是有利的。該系統的所有組件，包括氣體輸送單元、加工室和安全聯鎖，都被安置在一個單元內，以方便使用。此外，反應器的工藝室還配備了控制溫度和沈積速率的先進自動化裝置。這是通過Softbank機器完成的,該機器與腔室的計算機集成在一起。此工具允許用戶控制和監視實驗參數,並根據需要對其進行調整。最後，整個資產的設計考慮到了安全性。它包括幾個旨在防止任何危險狀況發展的安全聯鎖，如高壓力或高溫。此外,該模型的設計符合半導體行業法規的嚴格安全標準,確保過程安全高效地完成。