二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0200-06824 #293668873 待售

ID: 293668873
晶圓大小: 12"
Cover ring for Ultima X, 12" Process: HDPCVD.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0200-06824是一種先進的用於半導體制造的等離子體蝕刻反應器。該設備為淺溝隔離和淺溝深矽蝕刻的關鍵特征定義提供了解決方案。反應器的工藝室是一種全金屬設計,具有多個電極,使其能夠調整選擇性蝕刻速率,以提供優異的效果。其先進的等離子體源提供卓越的電氣控制,可重復的過程性能。該系統設計為小型密封單元,降低了噪聲水平,提高了單元清潔度。AMAT 0200-06824先進的電源和控制電子設備提供高性能精度。這通過壓力控制機的能力表現出來,使其在操作過程中能夠保持出色的過程重復性,並最大限度地減少對腔壁的離子轟擊。反應堆先進的射頻發生器也允許量身定制蝕刻輪廓形狀控制。最終用戶將享受直觀易用的GUI(Graphical User Interface),讓配方的創建和設置成為一種微風。有了各種各樣的工藝配方,反應堆的用戶就能夠為他們想要達到的產品優化他們的工藝參數。該工具還支持可重復運行,並配備了健康監視器,以便用戶可以檢查資產的狀況。APPLIED MATERIALS 0200-06824是生產優質半導體材料的直觀高效模型。憑借先進的等離子體控制系統和廣泛的工藝配方,反應堆允許用戶精確控制蝕刻輪廓,以獲得卓越的性能。它的圖形用戶界面使設置和配方創建成為一項簡單的任務,而其健康監控設備確保操作員擁有做出合理決策的最佳信息。
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