二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0240-70935, 0240-70936 #9038984 待售

AMAT 0240-70935和0240-70936大型並聯反應堆是將多種材料以最高的吞吐量速度和可重復性沈積到基板上的專用工具。這些系統由一系列平行流動反應堆構成，能夠快速有效地將各種單層或多層薄膜沈積到平坦的以及有圖樣的基板上。得益於低熱質量設計，這些反應堆可以生產出厚度、尺寸和分辨率範圍廣泛的高質量薄膜。此外，所有這些過程都是在精確的低溫腔室環境中進行的，這有助於減少缺陷率和熱損傷。該反應堆還可用於大批量生產和基於研究的實驗。應用材料0240-70935/70936反應堆都配備了控制精確，可重復生產各種薄膜。系統的基本元件是雙獨立質量流控制器。這些控制器可以精確控制將要沈積的各個層、每個層的厚度以及所需的溫度設置。對於沈積過程，反應器采用電熱化學氣相沈積法（又稱「精密電化學氣相沈積」）。這一過程提供了比濺射或物理氣相沈積等其他方法更高的薄膜性能精度。反應堆的工藝室本身裝有4向閥、真空口和氣體噴射器，用於精確控制沈積過程，並確保只能制造高質量、均勻的沈積物。為了保證薄膜性能始終保持一致，腔室壓力也經過精心調節。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS 0240-70935/70936有一個獨立的靜電風扇系統，有助於確保整個沈積過程中可靠和可重復的流動和壓力。為了幫助準確監測這一過程，已經包括了一個實時在線厚度監測儀，以便進行精確的薄膜厚度測量。這些反應堆也是可定制的，能夠為未來的擴展加入額外的組件。例如,可以添加控制器來調節蝕刻、快速熱退火和擴展蝕刻過程。考慮到這些因素，AMAT 0240-70935/70936大型並聯反應堆可以作為單一的獨立進程或作為綜合多模塊系統的一部分運行。這些反應堆的獨特特點使它們成為那些希望在精確、低溫環境中沈積各種均勻性、厚度和分辨率最高的單層或多層薄膜的人的完美工具。