二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0242-29971 #293656311 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0242-29971反應堆是一種用於制造多種半導體材料的高性能工具。該單晶片離子註入反應器提供了卓越的均勻性、劑量精度和產率。反應堆的最大電離束電流為2.50 A，在多環設計中采用了十二個獨立的離子源。它在10-4 Torr的最大壓力下運行，渦輪轉速範圍為0至4,500 RPM，溫度範圍為100-500 °C。此外,它還具有兩個高精度對準級和1-20 MeV的可調能量掃描範圍。AMAT 0242-29971反應堆設計有先進的腔室部件和特點，以確保高效加工。基板支架組件由提供基板安全定位的不銹鋼桿組成。氣體和流體分布板防止與其他氣體摻雜。頂部和底部氣體引入組件具有優化的供應系統,可確保氣體的正確輸送,幫助優化給藥時間並確保結果一致。APPLIED MATERIALS 0242-29971反應堆也有10千瓦射頻電源，具有各種調諧配置。它具有隔離調諧墊，可快速產生薄膜沈積，對導電材料和介電材料均具有優異的效果。此外，反應器包括多個傳感器，用於測量和監測腔室壓力、溫度、氣流和離子源電流。0242-29971反應堆的優點包括加工效果可靠且均勻，性能優異，循環時間快，底物損壞最小。這使得它成為各種要求苛刻的半導體制造工藝的理想工具。