二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0242-73400-1 #9129478 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 0242-73400-1是一種雙室、低壓、化學氣相沈積（CVD）反應器。它旨在將許多材料的薄膜高效地沈積在各種半導體基板上，如電介質、氮化物、導電氧化物和其他金屬。這座反應堆的主要特點是尺寸緊湊、柔韌性強。它可以適應不同的工藝室配置。反應堆設有兩個過程室，第一個是主室。主室是CVD過程的核心，是容納基板的。它由石英反應器管、級/基板架、排氣區和加熱截面組成。主室和第二室都裝有手動閥門，可以控制氣體的引入。石英反應堆管負責沈積過程中氣體的輸送，能夠在25至1000°C的溫度範圍內運行。加熱截面是基材在沈積過程中被加熱的地方。它連接到加熱線圈，可在0至1000 °C之間調節。基板支架本身裝有排氣系統，以確保在沈積過程中適當的壓力控制。二次腔室用於在氣體引入主腔室之前對其進行處理。它由加熱塊、氣體引入區、歧管和過濾器組成。氣體引入區允許有控制地引入氣體，以及引入矽烷和氯鋁酸鹽等化學品。AMAT/AKT 0242-73400-1是在各種半導體基板上沈積薄膜的理想反應器。它體積小，而且可以適應不同的腔室配置，因此具有很大的靈活性。此外，其處理各種溫度和氣體的能力使其能夠將各種材料沈積在基板上，從而能夠進行很大程度的工藝控制。