二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0290-20094 #9203683 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0290-20094是一種工業級化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於使用各種工藝氣體沈積薄膜。反應堆寬96英寸，深42英寸，高67英寸，能夠在直徑700毫米的載荷下產生高達7晶圓的批次。它具有兩個獨立的直列式加熱器，具有獨立的溫度控制，以實現最大的熱均勻性，確保基板以一致的均勻性充分加工。其內部由反應堆容器和氣體歧管兩部分組成。反應堆容器的設計提供了一個幾乎理想的氣體流動環境，其圓柱體內部襯有熱石墨（PG），這是一種高反射性的導電材料，有助於濃縮源氣體並產生均勻的薄膜形成。氣體歧管是位於反應堆頂部的一個大腔室，其中源氣體在真空下通過一個入口加上幾條傳遞線註入反應堆。反應堆采用高溫爐技術，使得能夠利用更具侵略性的工藝條件，快速生產出形態良好的厚而均勻的薄膜。射頻和直流電源由高質量材料制成,可達到2000W的功率水平,提供均勻的低溫剖面和均勻的整個基板加熱,從而提高工藝穩定性和產量。為了確保高吞吐量和最小停機時間，該系統包括兩個用於晶片裝卸的石英鎖室和一個排氣管理系統，以消除環境中的揮發性部件。此外，AMAT 0290-20094與各種氣流控制器兼容，以監測過程。應用材料0290-20094 CVD反應器是在晶圓和其他基材上沈積各種材料的可靠而有力的工具。它提供高品質的均勻膠片,並具有模塊化設計,允許定制過程和出色的可擴展性。因此，它已成為半導體工業中高容量、生產級CVD沈積的主要選擇。