二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0660-01699 #293659250 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0660-01699 Reactor是一種高性能、高度通用的裝置，旨在接受多種工藝化學和底物。AMAT Reactor以創新、精確控制的技術為動力，是一種工藝驅動的裝置，可以自動化生產各種材料，如固有和摻雜的矽、多晶矽、預非晶矽和非晶矽，以及單壁碳納米管。反應堆設有一個可容納多達八個晶圓的腔室，使其能夠實現高通量。該室由不銹鋼制成，采用氣體擴散裝置設計，以均勻分配工藝氣體，確保沈積過程中的最佳熱狀態。其電加熱系統能夠提供精確到0.2°C以內的熱預算以獲得最佳性能。此外，其低電容電源單元可提供高達40kHz的精確頻率範圍，以確保精確的定時控制，從而實現快速高效的沈積。為了最大限度地提高安全性，APPLIED MATERIALS反應堆提供了一系列用戶可調節的安全特性。當檢測到汙染或傷害的危險時，它的自動聯鎖機器會切斷過程中的氣體和電力供應。該腔室還設有一個門聯鎖開關，當腔室門打開時會脫離，可以用鑰匙繞過。AMAT/APPLIED MATERIALS反應堆還具有先進的控制軟件，能夠提供卓越的精度和可重復性。它的實時調整提供了高度的靈活性和對工藝氣體和基板溫度的控制。此外,它的軟件還具有自動事件日誌記錄功能,可確保質量控制並幫助實現遠程調試功能。這種最先進的AMAT反應堆為各種薄膜和材料的沈積提供了極致的性能、準確性和精確度。通過提供各種可自定義的參數和參數,以適應所需的產品,此設備可以為許多應用程序和行業提供高質量的薄膜沈積。