二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 1600 #293620425 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 1600是一個單晶圓反應器，設計用於各種半導體元件的高通量生產，如現代晶圓和基板。這種多用途反應堆設計用於加工直徑達6英寸的單片式、無負荷晶片。反應堆設計接受兩個單獨的卡帶，允許兩個單獨的進程同時運行。反應堆精密的工藝室設計允許多維、高密度等離子體（HDP）均勻分布。這種專用腔室還能在可重復的周期時間內產生可重復的、高度可靠的、高產量的結果。AKT 1600配備了多噴嘴淋浴頭，確保了所有基板速率的介電均勻性。反應堆室裝有氣流歧管和數字氧氣表。此功能提供了對每個流程的特定流程需求的最佳控制。反應堆設計為在幹燥的環境中運行，允許清潔的過程環境。微型傳感器和帶閥門的渦輪泵為每個過程提供正確數量的工藝氣體，為反應堆增加可靠、可重復的性能。該處理器還配備了深度可調節的船標高系統，以確保無負載晶片的最佳沈積均勻性。AMAT AKT1600帶有觸摸屏用戶界面,可快速更改和輕松監控流程參數和配方。流程監控系統有助於最大限度地減少停機時間,並最大限度地提高每個流程的產量。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT AKT1600是半導體元件高通量生產的絕佳選擇。