二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 1600 #9364083 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 1600反應堆是一種等離子體蝕刻、沈積和退火設備，用於材料加工應用。憑借其先進的納米技術能力，該反應堆用於涉及薄膜沈積和蝕刻的研發項目。AKT 1600利用感應耦合等離子體（ICP）源，產生高溫、高能離子和其他種類，可用於蝕刻多種材料。這個ICP電源由高頻RF電源供電，可以調整以調整傳遞給等離子體的功率。AMAT AKT1600能夠在75至1200攝氏度的高溫下工作。APPLICED MATERIALS 1600是一個雙室，水平配置的反應器，帶有一個負載鎖定室。鎖載室用於在兩個腔室之間運輸晶片載體，而不會使腔室或設備暴露於外部汙染。這樣可以防止任何空氣或其他汙染物進入加工室。AMAT 1600能夠沈積金屬、聚合物、電介質等多種薄膜。這是通過將氣體帶入機組的氣體註入系統，結合ICP機的源功率，可以改變沈積物質的密度來實現的。產生定向視線（DLOS）的先進加熱元件允許將沈積的薄膜或其他材料退火在腔室中,並且可以設置五分鐘到幾小時之間的時間。1600能夠實時控制工藝速率和組成，這使得它們能夠精確。這種精確度，加上先進的加熱元件，可以保證良好的過程重復性和可靠性。該工具還配備了種類繁多的診斷能力，如相機成像和紅外成像。總體而言，AMAT/AKT AKT1600反應堆是用於材料加工應用的先進工具。它具有ICP資產和DLOS加熱能力，能夠產生精確的蝕刻、沈積和退火結果。這些特性使其能夠產生具有可重復結果的堅固結構，確保其最終產品的質量和可靠性。