二手 AMAT / APPLIED MATERIALS (2) Chambers for Endura #293667135 待售

AMAT （2） Endura室是一個可定制的超高真空室，用於半導體行業的各種研發和生產工藝應用。這套精確可靠的腔室是為了滿足要求苛刻的半導體環境的需要而設計的。應用材料（2） Endura室由兩個獨立的室組成----一個主加工室和一個背面加工室。主加工室為大尺寸室，容量為4.8升（1.3加侖），容積為3.15立方米（1.2立方英尺）。它采用304不銹鋼制成的全金屬結構，並配有用於溫度控制的精確控制加熱元件。腔室還支持包括渦輪分子泵、渦旋泵、冷凍泵、渦輪阻力泵、離子泵在內的多種真空泵，因此可以為每個作業選擇最佳的真空解決方案。第二個腔室（背面工藝）是一個縮小尺寸的封閉腔室，通常用於蝕刻和濺射。它具有0.21立方米（0.07立方英尺）的體積，並提供高達500 °C的溫度控制。它采用雙壁不銹鋼結構，並配有適合等離子輔助蝕刻工藝應用的定制電極。AMAT/APPLIED MATERIALS （2） Endura室通常連接到您現有的真空系統,使您能夠簡化現有流程,同時確保高精度和一致性。該室套還配備了緊急停車開關、接地連接、通風罩、安全燈簾等安全功能。最終的結果是一個強大而可靠的工具，非常適合許多研發和生產過程的應用。該腔室套件的建造是持久的，其精確控制的加熱系統確保了一致的結果，使其成為滿足半導體行業苛刻要求的邏輯選擇。