二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9379475 待售
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ID: 9379475
優質的: 2008
PECVD System
G-SiO
(4) Heat chambers
(4) ADVANCED ENGERY RF-50SWC RF Generators
Heat exchanger
Scrubber
(4) DC Power supplies
Pump:
ALCATEL ADP 122L
EBARA A200W.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500是一種先進的矽基化學氣相沈積（CVD）反應器。AKT 3500是一款獨特的先進沈積工具,旨在實現先進照明、光學、半導體和光電元件的高通量制造。它為將堅硬耐用的材料沈積在從玻璃到金屬再到半導體材料的各種材料上提供了高度可重復、可靠和高效的工藝。AMAT AKT-3500旨在充分利用AKT專有的高級低溫（ALT）工藝。這個過程使用多層加熱的基板，並允許矽在較低的溫度下沈積，從而對沈積過程進行更全面的控制。APPLICED MATERIALS 3500能夠實現金屬和氮化物層的超薄沈積，這是光導板和光學元件等應用所必需的。AKT AKT-3500是建立在一個新的大氣壓力沈積設備.這是一個氣流沈積系統，基於一個獨特的設計，利用多個沈積源，精確控制氣流和獨特的靜電過濾單元，高通量薄膜生長。與傳統的CVD系統相比，這使得沈積層具有極好的均勻性。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500機還配備了新開發的順序快門控制工具。這使得沈積過程中的多個單獨步驟能夠以更高的準確性和控制力進行召集。這與集成的加熱/冷卻資產相結合,為精細調整的工藝參數提供了最佳的彈性和吞吐量。APPLICED MATERIALS AKT-3500是一種多功能反應器,可實現多種沈積配置。它非常適合光電應用,如LED、導光板、光學元件等。具有沈積多種材料和控制沈積性能的能力，AKT-3500反應器可以提供優異的效果。
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