二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380503 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500是一種多室等離子體蝕刻反應器，設計用於在廣泛的應用中對裝置進行精確蝕刻。一系列工藝室的大小從10"到20"不等，有可能蝕刻設備，最大腔室大小為19"。它在同一反應堆中提供反應性等離子體蝕刻和幹蝕刻能力。AKT 3500反應堆根據蝕刻應用利用各種工藝氣體，包括氯氣、溴氣、氟氣、氙氣、氮氣、氧氣、矽烷氣和六氟化硫。它還利用直流（DC）電源來產生等離子體和各種磁場，以及電感耦合等離子體源來傳遞所需的能量輸入。等離子體用於剝離不需要的物料層或在設備的物料中進行更深的蝕刻。根據蝕刻應用，AMAT AKT-3500可用於各種反應堆裝置，包括單室、三室和四室。單室蝕刻工藝涉及所需工藝氣體的單個單獨源，而三室和四室可以同時利用多個氣源。APPLIED MATERIALS 3500的每個腔室還配備了多條靜電和靜態氣體采樣線，以確保設備的均勻、均勻蝕刻。AKT AKT-3500反應堆還配備了一系列安全功能，包括消防和氣體關閉系統，以及應急過濾器和排氣系統。此外，該系統還包括溫度調節和主動監測系統，以確保該過程始終在所需參數內運行。AKT-3500為各種應用要求提供可靠和高效的蝕刻結果。它可用於中、大面積裝置的精密蝕刻，也可用於小面積裝置的深層蝕刻。這種反應堆具有輔助均勻蝕刻的元件，可提供可擴展性，以滿足各行業的需求。