二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380504 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 3500是一種反應堆，設計用於在半導體工業中執行多種工藝。它配備了高溫和壓力能力，使其能夠執行大量的蝕刻和沈積任務。該反應堆可靠，用途廣泛，使用安全，因為它配備了安全關閉功能。AKT 3500的核心是一個隔熱、氣密的熱解石墨室，在使用過程中具有極好的導熱性能和電阻/再生性能。此外，腔室內襯復合薄膜，有助於提高溫度均勻性。反應堆采用先進的電阻加熱設備進行加熱，該設備具有調節傳熱速率的嵌入式溫度傳感器系統，並能保持準確和一致的溫度。AMAT AKT-3500還設有一個集成的自動化過程控制單元，有助於確保可靠和可重復的結果。本機設計用於監測反應堆的溫度和壓力設置，並相應調整，以保持工藝精度。此外，該工具可以針對各種工藝和材料進行編程。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500還包括一個自動化的流程監測資產，它記錄流程參數並協助記錄結果。此模型還提供了對過程監視和分析功能的訪問。此外，反應堆的設計包括各種選項，例如定制配置，以滿足多種工藝要求。這些構型的例子包括電子回旋共振微波等離子體（ECR）、靜電、濺射和離子植入。這樣就可以量身定制AKT-3500，以滿足各種半導體生產應用的具體需求。最後，APPLIED MATERIALS 3500可以配備高速射頻電源，以及射頻測量設備，以便在各種蝕刻和沈積過程中提供盡可能高的產量。綜上所述，AMAT/AKT AKT-3500是一種先進、可靠、用途廣泛的反應堆，設計用於在半導體工業中執行多個過程。其特點是具有超高溫均勻性的耐溫室，以及自動化的過程控制系統和過程監控單元。此外,它還可以針對各種操作進行定制,並配備高速射頻電源,以獲得盡可能高的產量。