二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380505 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500是一個水平、氣相、批量生產過程反應堆。它設計用於執行熱解、CVD、氧化、氮化等多種熱過程。該反應堆適用於一系列需要高溫和良好工藝控制的應用。它可以提供高達3500瓦的工藝功率,精確度± 3%。AKT 3500由不銹鋼室構成，用於改進溫度控制，並設有加熱窗口供熱過程觀察。反應堆使用可快速調節溫度的閉環控制設備運行，允許精確的過程控制。它還包括用於精確加熱的匹配電源。AMAT AKT-3500配備了用於精確氣流控制和凈化的氣體控制模塊，包括可以作為強制對流或天然對流爐運行的集成爐。該系統包含多種安全特性，包括三區互鎖安全單元、裝有安全警告裝置的爐子、帶有警告鈴的排氣鎖。應用材料3500還包括用於散熱的水冷卻機。該工具用戶友好,具有直觀的圖形用戶界面和顯示所有流程參數和反饋的7英寸彩色屏幕。它具有用於故障排除的內置自檢程序，支持軟件升級。反應堆靈活，可用於多種工藝類型，包括溢流、閾值和多步驟。它還支持其他腔室組件的集成，以促進產品的特定需求。AKT-3500是一種易於使用且可靠的熱處理應用解決方案。