二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380506 待售

ID: 9380506
PECVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500是第三代反應性離子蝕刻(RIE)反應器,旨在提供卓越的蝕刻性能並實現廣泛的加工能力。AKT 3500是一款平行板蝕刻器,以其專有的行星氣體分配技術,為生產超高精度介電、金屬和硬掩模特性而設計。定制的水平和垂直氣體配置可實現廣泛的處理能力。這包括現代濕蝕刻、各向異性蝕刻(RIE)、深矽蝕刻以及金屬和介電層的底切蝕刻。此外,AMAT AKT-3500還具有自動清洗墊子的功能,以減少清潔時間並提高現場蝕刻的均勻性。3500具有加載/鎖定設備,能夠快速加載以輕松更改管線。反應堆還具有先進的壓力控制功能,能夠在較長時間內重復均勻的過程。此外,AKT-3500還配備了特殊的可變層系統。此單元允許一個工具用於多層,從而減少了所需的設置時間,並消除了多層之間的額外負載。該機器還可以提高薄層上的工藝穩定性。此外,AKT AKT-3500采用原位加熱工具,能夠優化蝕刻溫度,提高工藝控制和精度。應用材料3500已被證明是一種高度可靠和用戶友好的機械,在全世界的半導體制造商和制造商中非常流行。該資產還設計用於簡單直觀的操作,目標是提高效率和吞吐量。最後,AMAT 3500是一個可靠和多用途的反應堆,允許用戶進行廣泛的蝕刻過程。其獲得專利的平面氣體分配技術提供了優異的蝕刻性能,而其負載/鎖定模型、可變層設備、原位加熱系統則進一步提升了機組的性能和應用能力。該機還用戶友好,操作方便,可靠性高。
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