二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380507 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500反應器是一種高性能的磁密閉電子回旋共振（ECR）等離子體反應器，用於在各種基板上可靠、高效和精確地沈積層和塗層。該反應器可以在一系列腔室幾何形狀中實現均勻的等離子體蝕刻，並具有參數化靈活性，從而實現最優工藝優化。AKT 3500反應堆提供的原位等離子體表征能力為工藝優化和區域上恒定均勻沈積提供了強大的反饋控制能力。AMAT AKT-3500 Reactor能夠生產高密度、高能等離子體,可用於廣泛的沈積應用,包括金剛石狀碳（DLC）塗層、介電層、多層堆棧和寬帶隙氧化層。該反應堆有一個plc驅動的C-V機器人進料器，能夠控制和監測所有工藝參數，如加熱器功率、氣流和沈積速率，以確保沈積的可靠性和均勻性。高密度等離子體和均勻沈積速率是利用雙磁場系統結合電子加熱設備實現的。APPLIED MATERIALS 3500 Reactor的雙磁場系統位於由氦氣閉環冷卻系統冷卻的腔室內部，以維持穩定的工作環境。磁場由兩個形成ECR區的螺旋纏繞平面電感產生。這種ECR區允許在電子溫度條件下有很大的動態範圍，這種條件非常有利於高效生產高密度、高能等離子體。3500反應器的電子加熱單元是一個微波波導機器，連接到ECR區。微波是通過射頻子系統產生的，並戰略性地定位在腔內，從而為高效的等離子體生產提供了最大的能量密度。其余的處理系統，如氣體進料工具，其設計目的是確保在整個沈積過程中過程不間斷和一致。AKT-3500反應堆是一種可靠、高效和精確的沈積資產，能夠產生各種優質層和塗層。該反應器具有用於強大反饋控制的原位等離子體特性和用於穩定沈積環境的閉環冷卻模型。AKT AKT-3500反應器具有參數化的靈活性和先進的工藝控制解決方案，為任何沈積應用提供了最高水平的工藝優化和均勻沈積。