二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380509 待售

ID: 9380509
PECVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500反應堆是一種多過程、多用途、動態、靈活、高溫的化學氣相沈積(CVD)系統,設計用於半導體工業。它允許對工藝條件進行精確控制,並可用於存放用於智能手機應用、新顯示技術、太陽能電池制造和薄膜檢測等一系列應用的薄膜。AKT 3500設計有三區多級CVD腔室。腔室配有單獨的多個加熱部件,允許對每個區域進行獨立的熱控制。這允許對不同的薄膜或薄膜組合使用不同的工藝溫度。它還允許電介質或其他半導體膜的高溫退火,增加膜的均勻性。AMAT AKT-3500利用先進的診斷手段實時監測工藝參數,如薄膜厚度、分布、晶體結構和清潔度。這樣可以確保生產產量高,且拒絕次數最少。反應堆還配備了多氣體進氣系統,允許柔性進氣組成以創建過程效率高的均勻薄膜。反應堆上的軟件為其用戶提供了廣泛的實時工藝配方。這可以根據工藝應用和晶圓要求進行定制和調整。APPLIED MATERIALS AKT-3500還具有全方位的安全功能。它采用自動、非接觸晶圓傳輸系統設計,以減少顆粒汙染。它還配備了先進的CVD後端,並配有互鎖和安全罩。這使得氣態混合物在CVD過程中的濃度安全可靠。最後,AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT AKT-3500反應堆設計為對工藝條件提供可靠、靈活、精確的控制。它是一種功能強大且用途廣泛的設備,可用於將膠片存放到多種應用中,同時確保高產品質量和產量。
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