二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380513 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500是一款高性能的直列式等離子體蝕刻/清潔工藝設備，設計用於微電子行業的蝕刻和清潔工藝。該系統利用先進的等離子體控制模塊，對反應性離子蝕刻（RIE）工藝進行精確控制，使蝕刻工藝具有卓越的均勻性和可重復性。該單元由幾個子組件組成，包括一個等離子體發生器、一個自動負載鎖、一個可調壓力/流量控制器、一個用於加熱晶片的板式加熱器、嵌入式射頻和直流源以及一個具有差動泵送的真空室。機器中的等離子體發生器利用一組泵送元件在高達0.2torr的壓力下創建穩定的介電真空室，能夠在蝕刻過程中產生等離子體和等離子體狀態。等離子體發生器還能夠提供廣泛的薄膜成分、腔室壓力和溫度。該工具包括一個自動負載鎖，用於有效裝卸晶片，自動控制腔室壓力和溫度，用於一致的蝕刻過程。壓力/流量控制器允許精確控制等離子體腔室的區域，並將原料氣體和超純蝕刻氣體輸送到腔室。這有助於確保等離子體產生的活性物種在整個蝕刻過程中的均勻分布，從而產生優越的蝕刻結果。資產還包括用於加熱晶片以確保均勻蝕刻結果的平板加熱器，以及用於一致蝕刻速率控制的嵌入式射頻源。AKT 3500旨在為微電子行業提供一致、可靠和可重復的蝕刻工藝。其組合式組件能夠對反應離子蝕刻過程進行精確控制，產生卓越的均勻性和可重復性。AMAT AKT-3500具有提供各種薄膜成分、腔室壓力、溫度和氣體輸送的能力,為微電子行業的蝕刻和清潔過程提供了有效的解決方案。