二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380514 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 3500是AKT公司開發的一種化學反應堆。它是一種先進的等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）生產設備，具有低溫等離子體。這類沈積用於將各種材料的薄膜，主要是矽和氮，沈積在基板上。AKT 3500是一種用途廣泛、用途廣泛、可擴展的系統，可用於制造包括半導體元件、顯示器和光學等多種產品。這個反應堆擁有一個水平安裝的矩形腔室，用於處理多達8 「X 8」個底物。該室有雙磁控管濺射源（DMS）和多源磁控管濺射源兩種，可用於產生所需的等離子體環境。此外，該裝置能夠達到10°C至200°C的基板溫度，從而能夠精確控制沈積過程。反應堆配備了多種先進技術，旨在降低成本和提高效率。特別是，AMAT AKT-3500中使用的無窗真空室技術有助於減少熱能損失，從而降低總體能耗，並減少顆粒汙染。另一項先進技術，即柔性氣體分配，可以精確控制前體氣體流量，這有助於優化薄膜工藝。該機采用了獲得專利的陰極電弧源技術，產生了高質量、均勻、沈積速率高的塗層。這是由於陽極和陰極之間產生的電弧，導致高能等離子體能夠沈積沒有汙染物的薄膜。這項技術還提供了一個非常高的均勻性在整個基板薄膜沈積。APPLICED MATERIALS AKT-3500是業界領先的可定制工具,專為高精度薄膜沈積而設計.它提供了多種功能、技術和控制方法,使其成為許多生產應用程序的理想選擇。這種最先進的資產還消除了傳統PECVD系統的許多限制,為用戶提供了一個效率更高、成本效益更高的解決方案。