二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380515 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500是一種先進的低溫PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）反應器，設計用於生產半導體結構。與傳統的沈積系統相比，該反應器具有顯著的優勢，如更高的通量和更好的沈積均勻性。AKT 3500結合了獨特的兩級射頻發電機系統，利用兩個獨立的級聯射頻源產生具有獨立發電機控制的高頻（HF）和可調射頻電源。這使得用戶可以通過精確控制氣相溫度和目標材料的沈積速率來配置和微調沈積過程。AMAT AKT-3500包含一個單壁反應室和各種軸向和徑向氣體噴射器，以方便沈積過程。註入區半徑可調，使用戶可以優化沈積均勻性和吞吐量。反作用室還包含峰值場區域，以確保反應物的均勻分布和目標材料的有效均勻沈積。除了射頻發生器和反應室外，AKT-3500還具有復雜的電源、控制和診斷系統組合。這些系統允許用戶監控和調整反應堆環境以獲得最佳性能，同時最大限度地提高材料吞吐量和均勻性。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500還提供先進的安全功能，包括TMF（扭矩監測反饋）系統和低溫等離子體保護。這種保護裝置有助於將腔室溫度保持在最佳水平，同時防止腔室內的危險區域和過熱區域。總體而言，AMAT 3500是一種高效直觀的PECVD反應堆，能夠滿足許多商用半導體生產工藝的需求。其先進的兩級射頻發生器、精確配置的註射區和集成的安全系統有助於確保材料的精確沈積，同時優化吞吐量。APPLIED MATERIALS AKT-3500是尋求可靠和通用PECVD解決方案的用戶的理想選擇。