二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380517 待售

AKT, Inc.（AMAT） AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500反應堆是一種通用的等離子體蝕刻沈積設備，用於各種半導體制造工藝。此工具通常用於反應性離子蝕刻（RIE）、離子銑削和化學氣相沈積（CVD）。該系統是一個高真空室，提供橫截面面積和約25 cm立方的工作體積，在大約10-7 Torr的真空下運行。整個單元由計算機控制，包含壓力、溫度、分子通量、時間、離子能、電子溫度、氣體種類等各種工藝參數。為達到高質量的效果，AKT 3500反應堆采用氧化鋁、不銹鋼等先進的隔離材料，防止環境汙染，確保可重復控制和響應。該室還包括一個用於產生高功率等離子體波束的高功率天線。這種天線由機器控制，以實現精確的等離子體蝕刻和材料在半導體晶圓上的尖銳沈積。再者，反應堆可以提供-25°C至250°C的溫度範圍。其先進的氣體加熱工具有助於確保快速、準確的處理。此外，AMAT AKT-3500提供各種類型的沈積，包括低壓化學氣相沈積（LPCVD）、濺射、蒸發和等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）。該資產與自動卡帶到卡帶型號完全集成，無需手動轉移即可連續使用。此功能可簡化裝卸過程,有助於提高生產效率。3500的多功能性和準確性使其特別適用於細線結構和先進的設備制造。它在集成電路（ICs）開發中被廣泛使用，是半導體制造商經濟實惠的解決方案。此外,該設備采用了可靠的安全標準,並具有溫度控制、壓力傳感器和報警系統等多種功能。總而言之，APPLIED MATERIALS 3500提供了可靠和可重復的結果，並且具有足夠的用途，可以對各種材料進行蝕刻和沈積。