二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380518 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500是一種高精度的等離子體反應器設備，設計用於離子註入過程。它有一個可編程的規劃系統，可以精確控制劑量和電流分布。該單元廣泛應用於半導體工業中，用於加工半導體晶圓。AKT 3500由電源、等離子體源和真空室組成。電源負責控制等離子體源的電源。它可以被編程為調節傳遞給過程的電量。等離子體源產生高能等離子體，然後被電源電離。這導致電離粒子的電流，可以用來將離子植入正在加工的材料中。真空室是一個密封的、氣密的容器，在此過程發生。待處理的材料放置在室內，然後加熱到所需溫度，以方便離子的植入。植入過程通常需要10-6 Torr的真空。一旦達到這個壓力，電源就被激活，電離過程就開始了。粒子通過機器加速，然後撞擊材料，導致所需元素的植入。AMAT AKT-3500的可編程規劃工具允許對該過程進行精確控制。可以對電流密度和劑量等參數進行編程以定義所需的結果。資產最多配備四個獨立的處理通道，每個通道都有自己的腔室，使得多個晶片或基板可以同時處理。AMAT 3500是一種高效、精確的反應堆模型，可用於多種工業應用。它采用用戶友好界面設計，在離子植入過程中提供對劑量和電流的精確控制。這樣就可以根據特定的客戶要求量身定制植入過程，並確保過程的統一性。該設備是半導體晶圓加工中的寶貴工具，在業界得到廣泛應用。