二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380520 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 3500是一種單晶片自旋蝕刻反應器，專為在水性介質中蝕刻大型蝕刻結構而設計。反應堆能夠產生復雜的圖樣和精確的特征形狀。AKT 3500經過優化，可以蝕刻大小蝕刻結構，以及高通量均勻蝕刻應用。這包括具有正負光敏特性和微通道結構的設計。AMAT AKT-3500獨特的設計實現了堅固和可重復的均勻、一致的蝕刻結果。它提供了對蝕刻速率和選擇性的極大控制，以及準確的特征定義和深度控制。該工藝在蝕刻過程中還具有良好的電子束掩模-邊緣定義和基材溫度控制。反應堆使用酸性溶液作為蝕刻劑。這可以從稀釋HCl的水溶液到更復雜的溶液。蝕刻過程是通過在基板上塗抹光致抗蝕劑開始的，然後將其紡入AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500板上。然後將其暴露在高強度的紫外線下幾秒鐘，使光致抗蝕劑粘附在基板上。然後將蝕刻劑添加到壓板中,然後在此溶液中旋轉晶片一段固定的時間。在此期間，蝕刻劑與光刻膠反應，在基板上發展出所需的地形。一旦完成所需的工藝步驟，就用DI水沖洗壓板，然後將底物紡幹。之後，除去幹燥的光致抗蝕劑，檢查底物是否有所需的結果。整個過程相當簡單，只需極少的操作員幹預即可完成。AKT AKT-3500反應器是一個偉大的工具，在各種不同的底物蝕刻特征。它提供了準確和一致的蝕刻時間，允許高度精確的結果具有極好的重復性。能夠改變蝕刻劑濃度和調整工藝參數，使用戶能夠以不同厚度蝕刻不同的材料，使其成為一種用途廣泛的蝕刻工具。