二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380521 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500是AKT設計制造的單晶圓、低壓化學氣相沈積（LPCVD）反應器。該反應器用於將氧化矽、氮化物等材料的多層薄膜沈積在矽片表面。該設備由兩個主要部分組成：一個氣管/閥門組件和一個加工室。氣體管線/閥門組件由關鍵傳感器、閥門和控制裝置組成，以幫助管理進入系統的過程氣體流量。該工藝室由不銹鋼制成，包括兩個獨立功率控制的電子束源，1個射頻電源，以及整個腔室的溫度控制。AKT 3500的工藝室溫度範圍為120°C-900°C，能夠在大氣或降低的壓力下運行。其晶圓尺寸範圍最大為直徑8英寸，最大工藝負荷為7磅。該裝置進一步設計用於處理特定的沈積開銷，最大運行速度為80 W/in2。它具有以太網、RS-232和遠程訪問RS-485等各種數據通信協議。AMAT AKT-3500具有高精度的等離子體清洗功能，有助於分離和輸送揮發性顆粒，以減少過程引起的汙染。它旨在遵循JEDEC規則,為DRAM、閃存和Logic等高性能應用生成可靠且可重復的沈積過程。該機還配備了廣泛的安全功能套件，包括聯鎖、地面故障中斷和警報。總體而言，APPLIED MATERIALS 3500是一種先進的反應堆，旨在產生精確和一致的結果。它經過了嚴格的測試,並被證明在生產環境中表現最佳。它的特點和現代設計使其成為需要高質量和可靠結果的應用程序的理想選擇。