二手 AMAT / APPLIED MATERIALS (4) AE Minos chamber for Centura DPS II #293667189 待售

用於Centura DPS II的AMAT （4） AE Minos室是一種專用反應堆,為各種沈積過程提供卓越的性能和可靠性。AE Minos是集成電路生產中部署的介電薄膜、金屬沈積和其他經驗證的低壓化學氣相沈積技術等應用的理想系統。它是一個易於使用的系統,具有最新的軟件、高效的操作和節省時間的自動化技術。反應堆結合了預先編程的腳本和「Set and Forget」配方執行，以確保一致、可重復的結果。AE Minos的加工面積很大，直徑可達40厘米，旨在加工更大的晶圓，最大限度地提高生產吞吐量。其集成的工藝室允許用戶將一個源與最多四個附加源配對,以實現最終的靈活性,同時保持產品質量,並配備了一個快速執行的PID控制器,以將工藝保持在2°C ±的公差範圍內。它還配備了先進的主動廢氣管理能力，為外部環境提供了極低的排放率。AE Minos具有觸摸屏控制和USB接口,易於配置和維護。其先進的機器人控制的晶圓旋轉木馬允許低級別的人工幹預，自動化的誤運行檢測最大限度地提高產量，並消除與手動操作相關的錯誤。該設計可確保無維護性能,並且一系列安全功能可確保操作環境不受人員和工藝室本身的威脅。它與Centura DPS II的兼容性確保了與現有制造環境的高效集成。AE Minos是用於集成電路生產的可靠、易於使用的反應堆,提供卓越的性能、可靠性和吞吐量。其專門打造的設計，具有先進的PID控制、主動排氣管理能力和直觀的觸摸屏控制，使其成為半導體沈積過程的理想系統。