二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 401493LCM1 #9384031 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 401493LCM1是一個固定金屬室,旨在增加氣體、液體和/或固相中的特定物種濃度。它由一個外部鋼圓柱形外殼、四個不銹鋼反應管和一個陶瓷管組成,所有這些都包含在無氧的熱區氣氛中。大約7英尺高的腔室連接到兩個溫壓控制的熱區,一個用於監測過程氣體的導熱檢測器(TCD)和一個用於控制過程流量的質量流控制器(MFC)。由不銹鋼制成的反應管懸掛在圓柱形外殼內,並襯有惰性陶瓷。內襯陶瓷的管子減少了汙染,糾正了熱區溫度的不必要波動。嵌入陶瓷管壁的加熱器用於保持均勻的真空和室內溫度。AMAT 401493LCM1利用腔室和加熱區之間的界面,允許註入工藝氣體。該過程氣體均勻地分布在整個腔室中,確保物種均勻集中以實現均勻生長。加熱區各達到700C的溫度,並由TCD操作。MFC通過單個入口控制器調節工藝氣體,工藝氣體的壓力在10至15 psi的範圍內保持恒定。APPLICED MATERIALS 401493LCM1由耐腐蝕和抗氧化的材料組成,使其成為擴展的連續沈積過程的有利和可靠的反應器。304型不銹鋼在反應管內部形成線條,提供高效維護的保護氣氛。而腔室的設計壓力額定值高達15 PSIG,以確保所需的產品輸出。總體而言,401493LCM1是一個三英寸直徑、高效的反應堆,旨在提高反應堆性能並確保產品質量得到改善。它是沈積硬面膜、薄膜、多層模具、金屬化和其他廣泛相關技術的理想選擇。該反應堆易於維護,減少了停機時間,並允許更快速、更高效、更經濟高效的制造過程。
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