二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7600 #293827238 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 7600
ID: 293827238
Epitaxy reactor.
AMAT/APPLIED MATERIALS 7600是一種半導體制造工具,用於制造集成電路和其他半導體器件。AMAT 7600是一個「集團式」反應堆,意思是包括預清潔、基板輸送和後清潔在內的各種工藝單元一起配置在一個封閉的曝光室中。APPLIED MATERIALS 7600具有圓柱形反應堆石英室,頂部有一個窗口,用於裝載基板。腔室配有高溫熱板和氣體噴射器,使基板保持在特定溫度。真空泵用於在加工前將腔室排出,並清除任何副產品。在室內調節壓力,以確保一致的熱處理結果.7600反應堆有兩種不同的運行模式:單反應堆模式和多反應堆模式。在單反應堆模式下,一個反應堆內同時處理一批底物。這是制造簡單設備結構的理想選擇。在多反應堆模式下,單簇配置最多可使用八個獨立反應堆。AMAT/APPLIED MATERIALS 7600具有用於操作和控制的計算機控制接口。該軟件提供數據輸入、過程監控和質量控制。該軟件允許與其他處理設備進行自動逐批集成,以及針對特定半導體器件類型和工藝要求進行可編程定制。AMAT 7600的靈活性、可靠性和自動化使其成為滿足各種半導體工藝需求的理想平臺。其集群型反應堆配置使吞吐量高、精度高、可重復性強。該系統高度可靠,自動化確保了穩定的工藝條件和可重復的結果。此外,計算機界面提供高效的作業跟蹤和數據管理。因此,APPLIED MATERIALS 7600是一種高效可靠的工具,廣泛應用於半導體器件的制造和各種加工步驟集成到一個單元中。它的靈活性和準確性允許高質量和可重復的結果。
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