二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7700 #9095979 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7700是為半導體等離子體工藝而設計的反應堆。AMAT 7700利用AMAT專利的HiCap Power和Multimode源在晶圓基板上提供最高水平的均勻性和等離子體蝕刻速率。APPLIED MATERIALS 7700獨特的交叉功能允許兩個電源之間的不間斷轉換,從而實現無縫的過程周期和出色的過程穩定性。7700能夠處理蝕刻、氧化物沈積、氮化物沈積、冷凝等過程。其廣泛的腔室大小和材料使其適合廣泛的應用。該源腔還具有增強的高保真等離子體加工均勻性控制和最有效的低K沈積等離子體蝕刻工藝。AMAT/APPLIED MATERIALS 7700配備高功率射頻放大器，確保穩定可靠的等離子體產生和控制。它還利用先進的等離子體監測系統來保持等離子體密度和蝕刻速率之間的精確平衡，以實現更好的工藝控制。AMAT 7700的卓越性能得到其先進的診斷和診斷分析功能的補充。利用原位診斷分析，用戶可以精確跟蹤等離子體種類、離子能量分布和處理時間。此外，先進的光發射光譜診斷可以快速分析等離子體中雜質的存在，從而實現更快的工藝優化。APPLIED MATERIALS 7700的耐用性和安全特性也確保了安全高效的加工環境。其先進的安全/故障/熄火功能可保護腔室免受高溫循環和潛在電弧的影響,並具有緊急關閉系統,可保護系統免受意外損壞。總而言之，7700反應堆是半導體等離子體加工的強大可靠工具。其強大的光源和射頻放大器加上先進的光發射光譜診斷能力，提供了業界最高水平的蝕刻速率、均勻性和準確性。此外,其獨特的交叉特性和過程安全特性使其非常適合任何蝕刻、沈積或冷凝過程。