二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7700 #9269447 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7700反應器是一種高精度、多室的工具，用於沈積用於先進半導體應用的薄膜。它支持多種工藝技術和多種濺射基板。此設備可提供準確、高效和可重復的處理。應用包括PVD（物理氣相沈積）、CVD（化學氣相沈積）、LPCVD（低壓化學氣相沈積）、MOCVD（金屬-有機化學氣相沈積）和原子層沈積（ALD）。它利用高級流程模塊來增強性能和訪問額外的流程功能。基於照相機的計量和隧道顯微鏡模塊確保了高級納米級沈積過程的完整性。它還可以在系統內部使用多個不同的濺射目標，並支持最多四個共濺射過程。AMAT 7700反應堆可以處理一系列的基材尺寸和形狀，從小晶片到大基材。該單元還支持多種基板裝卸方法。具有核心特性的附加手套箱確保了良好的工藝重復性和安全性。該機器與AMAT PVD過程管理（AMPM）軟件包的兼容性為低成本的過程開發和生產提供了更高的控制級別。它集成了功能強大的軟件控件,以實現板載調度和作業跟蹤、過程記錄和報告以及遠程診斷支持。該工具旨在減輕操作和維護的總體負擔。它使用既定且公認的流程模塊技術的內置補償來確保可重復的高性能。該反應堆具有脈寬調制電源，用於快速響應和快速穩定。它還提供精確的溫度控制。它有一套廣泛的極化和蝕刻操作，允許配置多層和過程步驟。該資產還支持許多物理和化學傳感器進行過程監測。APPLIED MATERIALS 7700反應堆是MEMS器件制造、光電材料沈積、MEMS顯示器、傳感器、超小型化等先進半導體和納米技術應用的理想工具。它是一種可靠的解決方案,可滿足各行業的各種薄膜生產需求。