二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7710 #9095868 待售

ID: 9095868
優質的: 1994
Epitaxial (EPI) reactor 1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 7710 Reactor是一種下一代TFE(三場蝕刻)系統,設計用於蝕刻具有高精度和精湛均勻性的先進半導體器件結構。這種最先進的系統能夠通過場氧化物層、抗蝕層、薄膜堆棧和其他裝置結構進行蝕刻。AMAT 7710利用先進的TFE工藝在各種設備結構中實現近乎完美的均勻性。應用材料7710功能的核心是其先進的TFE過程。與傳統的幹蝕刻工藝相比,TFE的設計提供了更高的尺寸精度和更高的均勻性。7710采用創新的三場蝕刻室設計,利用兩種源氣體,第三個「偏置」場創造獨特的蝕刻環境。對源氣體和偏置氣體進行主動控制,以產生特定裝置結構的最佳蝕刻條件。這種先進的技術有助於確保均勻的蝕刻深度以及緊密的特征尺寸。AMAT/APPLIED MATERIALS 7710具有新穎的預調整階段。矽晶片暴露於專門的低損害幹蝕刻工藝中,以確保在蝕刻前準備好介電層和其他細膩的元件。此預調整步驟允許在蝕刻過程開始之前對設備結構進行最佳準備的受控蝕刻過程。除了其先進的預調理步驟外,AMAT 7710還使用了一系列氣體充氣組件和錯綜復雜的真空系統來管理蝕刻環境。每種類型的設備結構都需要不同的蝕刻條件,例如APPLIED MATERIALS 7710能夠自動調整蝕刻工藝參數以提供最佳的蝕刻性能。7710是任何尋求優化先進半導體器件結構蝕刻工藝的客戶的理想選擇。AMAT/APPLIED MATERIALS 7710采用先進的TFE工藝,提供精湛的均勻性和緊密的特征尺寸,可提高性能和產量。AMAT 7710除了其預調整步驟、錯綜復雜的氣體總成、管理真空系統外,是蝕刻裝置結構的最先進選擇。
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