二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7800 #9095974 待售

ID: 9095974
Epitaxial (EPI) reactor.
AMAT/APPLIED MATERIALS 7800是一種多用途沈積設備,用於多種薄膜工藝。它具有廣泛的功能,旨在支持大量的電影增長需求。AMAT 7800是一種反應性離子等離子化學真空沈積工具。它旨在存放高質量的薄膜和結構,以及特征的蝕刻。APPLIED MATERIALS 7800服務於磁盤驅動器、圖形顯示、IC封裝、顯示和光伏應用等多個行業。7800包括直流磁控管濺射源,能夠產生用於薄膜沈積的高功率單頻濺射放電。它具有多種工藝氣體選項,可以引入室內,以幫助生產一系列薄膜,包括氧化物和其他高介電材料。Applied Material AMAT/APPLIED MATERIALS 7800具有低壓等離子體源和四臂石英天線系統,該系統可產生離子並使其在整個腔室內加速,從而提供基板或薄膜厚度的均勻性以及特征的蝕刻。它還配備了高壓「脈沖RIE」源,能夠為磁性介質應用產生高順磁性層。沈積單元裝有兩個臂裝式靜電晶片卡盤,允許均勻覆蓋整個晶片。除了均勻沈積外,該工具還支持邊緣斜角、氧化物浸塗層加工、花紋蝕刻等獨特特點,以提供優越的工藝均勻性。AMAT 7800通過其軟件和編程功能提供了卓越的過程控制和可重復性。該機能夠控制基板和目標材料上多達40個工藝參數,以實現最大的薄膜沈積、沈積均勻性和工藝性能。總之,APPLIED MATERIALS 7800提供了市場上最可靠、最有效的工藝控制,旨在用於各種薄膜增長應用。對於那些希望以可重復的精度和可靠的性能來存放高質量薄膜和結構的人來說,這是一個很好的選擇。
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