二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 RP #69375 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 RP Reactor是一種先進的化學氣相沈積（CVD）設備，用於將各種材料的薄膜沈積在基板上。該反應堆的設計旨在促進高精度、生產質量的薄膜制造，其中包括金屬、碳化物、氟化物、氮化物、氧化物和復合半導體化合物等大量材料。AMAT 7810 RP反應堆的主要特點是操作和維護方便。它具有用戶友好的界面和許多自動化功能,可簡化流程,如配方步驟、壓力控制、溫度控制和質量流量控制。此外，該系統還設有原位氣體清洗裝置，可最大程度地減少基板汙染。APPLICED MATERIALS 7810 RP Reactor因其靈活的工藝室設計提供了非凡的多功能性。它可以容納各種各樣的材料，包括納米材料和從英寸到微米的基材尺寸。此外，其模塊化設計允許在單個工藝周期內對反應堆進行升級，使其非常適合於不斷改進工藝和快速原型設計。反應堆有兩個獨立的反應室--一個單室加工機和一個雙室加工工具。單室工藝資產設計用於單層沈積，而雙室工藝模型設計用於多層結構的沈積。在這兩種配置中，反應堆都有一個大的鎖載室、一個低壓鎖載室和一個真空室。反應堆還提供從室溫到超過1000 °C的精確熱控制。7810 RP Reactor配備了高靈敏度溫度、壓力和流量計，此外還有先進的PLC控制器，用於精確自動化的過程控制。該設備還具有Endura監控軟件,具有完整的數據記錄和報告功能,用戶可以密切監控正在進行的流程。此外,反應堆的模塊化設計提供了熱提取和熱回收選項,從而實現了工藝優化和成本節約。總而言之，AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 RP反應堆是一種可靠、用戶友好的薄膜沈積系統，提供多種材料和基板配置。它的高級控制系統和自動化流程減少了對操作員幹預的需求，而其廣泛的監控功能使用戶能夠密切跟蹤正在進行的流程。由於其模塊化設計和熱回收選項,該單元還提供了靈活性,使其成為高精度薄膜制造的理想選擇。