二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 RP #9804 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 RP（Rapid Processing）反應堆是一種創新的批量型反應堆，用於快速半導體晶圓加工。設計用於前端晶圓的制造和制造過程的開發。該設備采用半自動、連續加載的盒式磁帶到盒式磁帶工藝，每批最多可容納240個150毫米或150個200毫米晶片。離散的工藝組件，如批量裝載機/卸載機、熔爐、百葉窗和冷卻器都是模塊化配置的，可以組合起來，以符合用戶精確的工藝要求。該系統配備了AMAT全套晶片處理工具，包括先進的晶片清洗系統和一個精確、高速的晶片中心裝置，減少晶片加載/卸載時間。它還具有一個原位粒子測量機，能夠快速分析晶圓清潔。AMAT 7810 RP設計用於精確的溫度控制和精確的過程控制。該工具利用PID控制功能，沿爐區提供一致的溫度分布和反應物添加的精確控制。它還具有快速加熱控制器,可減少晶圓轉換時間並提高吞吐量。高級控制資產提供自動保存的過程參數（溫度和反應物濃度），可用於過程可重復性和開發。該模型還提供了全面的實時數據跟蹤,使流程工程師能夠監控和規範流程。APPLIED MATERIALS 7810 RP是一種先進的加工工具，對於高效、高產量的半導體加工至關重要。它界面簡單、控制精密，是高容量、高質量工藝開發的理想之選。