二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 #293827237 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 Reactor是一種高性能沈積設備，設計用於在大型矽基板上沈積高質量薄膜。它利用等離子體增強化學氣相沈積（PECVD），使制成品能夠將SiO2、SiCN等介電材料層沈積到矽、石英或金屬表面上。AMAT 7810可實現10nm線寬，接近原子級精度。該系統具有足夠的靈活性，能夠以高利率沈積大量材料或沈積完全均勻的非常薄的層。APPLIED MATERIALS 7810 Reactor配置為一個集成處理室，包含一個120立方厘米的加工室，有三個獨立配置的源模塊。源模塊提供反應物氣體的等離子體，以誘導和控制沈積。該沈積單元還可用於濺蝕、顯影和退火。腔室分為兩個截然不同的計量隔室，每個隔室都有一組獨立的控制參數。7810還有一個集成的在線質譜儀，能夠更準確地控制反應物氣體組成。AMAT/APPLIED MATERIALS 7810反應堆利用輻射散熱器高效消散熱能，利用帶射頻偏轉板的平行板靜電卡盤維持平整基板。該機采用不銹鋼框架，保證了平穩、一致的真空操作。AMAT 7810反應堆具有高功率密度，因此可以在高溫和較短的循環時間內沈積和蝕刻大型基板。APPLIED MATERIALS 7810 Reactor通過優化的工藝控制器提供了改進的性能，允許用戶快速設置多個配方和工藝序列。該工具能夠以微米級精度控制工藝參數，並能在最小的操作員幹預下實現令人難以置信的高吞吐量。總體而言，7810反應堆是一種功能極其強大、用途廣泛、維護效率低、成本效益高的半導體器件制造沈積工具。其精確度和功能使其非常適合各種應用,包括平板顯示器、內存設備和光電元件。