二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 #9077262 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810是一種先進的CVD反應堆，設計用於廣泛應用的過程能力。先進的等離子體增強型化學氣相沈積設備是一種高產、高性能的沈積超薄膜的先進器件技術。AMAT 7810反應堆的設計成本低，性能成本低。該系統可以配置為單個晶片或批處理過程，以及廣泛的現場計量系統陣列。它既配備了單晶片靜電卡盤，也配備了多過程腔室，以實現先進的批處理和單晶片工藝。APPLIED MATERIALS 7810反應堆還具有先進的等離子體源技術，包括等離子體增強CVD（PECVD）源。這一技術允許對溫度、離子濃度、離子通量和通量剖面以及其他沈積參數進行工藝控制。7810基板支架最多可容納6個12英寸矽晶片,負載單一,包括晶片旋轉裝置和中央真空端口。晶圓旋轉裝置連接到集成控制器，該控制器提供位置精度和精確度，使晶圓在沈積過程中能夠精確放置。反應堆還與閉環晶圓溫度控制單元集成，在過程中保持恒定晶圓溫度。AMAT/APPLIED MATERIALS 7810反應堆擁有先進的原位監測機，可對沈積過程進行實時監控。集成的冷卻功能和現場監視器允許快速循環時間和過程優化。AMAT 7810先進的監測和冷卻功能還提供了對沈積速率和層厚的精確控制，從而提高了產量並提高了工藝效果。除了其先進的工具特性，APPLIED MATERIALS 7810還提供了先進的安全和維護控制系統。氣體壓力控制設備確保安全和準確性，專有的閉環原位壓力監測儀確保不間斷和高效運行。7810還具有模塊化設計，便於維護和升級。總體而言，AMAT/APPLICED MATERIALS 7810是一種先進的CVD反應堆，旨在為各種應用提供卓越的工藝能力。AMAT 7810憑借其先進的監控和冷卻系統、低耗費、精密的工藝控制以及低性價比，是先進設備和技術制造的絕佳選擇。