二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 #9258176 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810是一種用於薄膜材料沈積的沈積反應器。反應堆腔室裝有一個填充了氙氣的等離子體源，用於清潔和低溫處理。反應堆裝有電子回旋共振（ECR）源，有助於產生比其他類型沈積系統產生的質量更高的塗層。該反應堆設計高效，具有最新技術和尖端設計特點。腔室可容納直徑達200毫米的多個晶圓尺寸。AMAT 7810提供了廣泛的沈積參數，包括氣流、總壓力、所需的目標溫度、基板溫度、源功率、偏置功率和加熱功率。這對於生產用於電子、能源、光學、射頻/無線和生物醫學領域各種應用的薄膜材料非常重要。大腔室和高溫能力允許大規模沈積在一個單一的運行。該設備還配備了基於計算機的個人操作員界面，便於設置和操作。該系統包括完整的材料庫軟件,使用戶能夠為當前過程選擇最佳沈積參數。該庫包括金屬、磁性、半導體、電介質和陶瓷等所有不同類型材料的數據。APPLIED MATERIALS 7810還具有幹式至幹式運輸單元,可實現批量處理操作,以及一個集成的負載鎖定和泵站,最多可裝卸17個晶圓。該機配備了一個可簡化過程控制和氣體流動的自動放大器。7810是為了滿足生產和研究的要求而設計的。這些部件的高可用性、易於操作、沈積物的精度和準確性以及該工具在生產中的可靠性是其優點之一。$AMAT/APPLIED MATERIALS 7810被認為是市面上最頂尖的薄膜沈積系統之一。