二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7811 #9095878 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7811是一種多室高溫真空爐，設計用於半導體制造的各種高溫熱處理作業。該儀器配有若幹加熱元件，可產生高達1400 °C的溫度，通過計算機控制可在2.5°C的±範圍內精確調節。這個先進的工具是由一個主反作用室和一個輔助的下腔（加工工具）通過一個可移動的門連接起來，在基板轉移和加載操作時提供對晶片的訪問。反應室保持在恒定的氮氣氣氛下，而工藝工具則通常充填有氙氣。該爐還配備了氣體噴射設備，能夠向加工室提供各種前體氣體混合物；支持沈積、氧化、退火和開槽等過程。AMAT 7811包括一個先進的加熱系統，在反應室內外都有幾個元素。該單元具有一個獨立的主熱區，以及可調節的預熱和後熱器，使儀器總共有三個熱區。這允許精確的溫度管理和晶圓和工藝的均勻加熱。該工具還裝有一個石英視口，它允許目視進入加熱室，從而直接觀察晶圓的進展。儀器配有多個報警和安全裝置，確保操作員和設備的安全。這些安全裝置中有蓋子蓋和底板，以防止意外暴露在高溫下。APPLIED MATERIALS 7811還包括兩個獨立的真空泵，實現了大規模和小規模的加工操作。7811是高溫熱處理操作的高度先進工具，是大多數半導體制造工藝的組成部分。該儀器采用室內和可調加熱元件、設計精良的氣體噴射機、多警報器和安全裝置以及石英視口工具，提供可靠和可重復的結果，是任何半導體制造工藝的絕佳選擇。