二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8130 #9364855 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8130是一種先進、高性能、具有成本效益的化學氣相沈積反應器，用於處理3D NAND和其他電路形成過程。使用垂直方向，AMAT 8130能夠在直徑不超過200毫米的基板上沈積均勻厚、均勻控制的層。采用模塊化、與工具無關的設計，APPLIED MATERIALS 8130可用於一系列不同的沈積過程。8130是一個單晶片反應堆，設計具有先進的機械設計，提供快速可靠的性能。機械設計允許快速、方便的維護,以及擴展的過程窗口。大型多區裝卸站提供對溫度、流量和壓力的嚴格控制，以提供均勻的沈積。此外，還有四個獨立的工藝室，每個室都有自己的加熱元件，可以烘烤630°CI/250°C。獨立的加熱元件可提高基板工藝的均勻性,並已進行測試以保持± 2°C的均勻溫度。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS 8130配備了先進的真空控制設備，可容納一系列工藝壓力，有效清除反應物氣體。該系統包括一個數字壓力控制器，維持所需的過程壓力，以及提供快速、可靠、穩定真空的渦輪分子泵，從而改善反應物氣體的輸送和改進過程控制。一個綜合運動單元，由反應堆的機器人界面控制，使底物的裝卸自動化，並允許四個反應室之間的快速和容易轉移。此外,集成運動機簡化了維護,減少了停機時間。該工具還可以精確控制基板的定位和工藝溫度，從而提高工藝的均勻性。AMAT 8130是一種先進、高性能、具有成本效益的化學氣相沈積反應器，旨在提供改進的沈積過程均勻性和性能。APPLIED MATERIALS 8130以其模塊化、與工具無關的設計，可用於生產3D NAND等先進集成電路的各種電路形成過程。其集成的運動資產，加上數字壓力控制器和渦輪分子泵，使反應堆得到了更好的過程控制和更高的精度。8130能夠在± 2°C的氣氛中烘烤630°C,非常適合高精度沈積過程。