二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 9240-03211 #293635674 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 9240-03211反應堆是為高精度應用而設計的高性能CVD沈積工具。這種設備能夠在控制微觀結構和薄膜形態的同時，生產出特別堅固、均勻的薄膜。反應堆設有真空室、堅固的氣體輸送系統和動力加熱元件。這種元素組合使得它能夠在高壓和高溫下運行，在大面積上提供具有可重復特性的均勻薄膜。AMAT 9240-03211反應器室由鎳塗層不銹鋼構成，包括一個壓板和旋轉門。壓板是安裝基板和目標的腔室的重新進入者。入口處的旋轉門可以方便地進出沈積室的基板。腔室內部采用低調配置設計，可實現高分辨率的均勻性和可重復的效果。反應堆配有氣體輸送單元，提供對氣體流速、混合和定時的精確控制，以確保整個基板上的薄膜沈積均勻。該機由一臺愛德華茲E2M18真空泵、一系列質量流量控制器和一個配有閥門的歧管組成，用於將氣體輸送到沈積室的各個部分。通過控制氣體流動和組成，反應器能夠生產出均勻性和可重復性的高質量薄膜。APPLIED MATERIALS 9240-03211反應堆還包括一個受控大氣室，該室裝有由中央處理器（CPU）調節的加熱元件。這種加熱元件能夠產生高達1000 °C的溫度和高達200 Torr的壓力。加熱元件產生的高溫高壓環境促進了整個基板上薄膜的均勻沈積。9240-03211反應堆是生產高質量薄膜的可靠工具，其特點使其非常適合廣泛的高精度CVD應用。利用其溫度和壓力控制、精確的氣體輸送工具以及堅固的腔室設計，該資產能夠生產出具有可重復效果的均勻薄膜，以滿足苛刻應用的需要。