二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 9240-03211 #293648591 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 9240-03211反應堆的設計目的是為各種半導體制造過程提供最佳環境，最顯著的是化學氣相沈積（CVD）。它有一個溫度控制的真空室，有不銹鋼周邊和底板，抗弧形石英窗，以及陶瓷基板支架。腔室內部容積約為25升，真空範圍為1.0 x 10^-6 Torr。該室配有一個快速抽出的渦輪分子真空泵和一個Tecator TM2500質量流量控制器來控制氣體的流動。此外,該腔室還具有兩個具有自動打開/關閉功能的Load-Lock和一個用於前置加載的晶圓籃。AMAT 9240-03211能夠將溫度低至-12 °C，最高可達800 °C，反應堆還設有內部迷你淋浴、RF等離子體發生器，以及用於精確溫度控制的雙環冷卻系統。應用材料9240-03211是生產高質量半導體器件結構的絕佳工具。它能夠生產金屬矽化物、高介電常數門電介質和具有精確摻雜模式的真空沈積金屬層。其精確的溫度控制和氮化物沈積特性提供了對正在生產的設備的結構和組成的精確控制。自動溫度控制系統旨在優化最大厚度均勻性和特征分辨率。此外,它的快速循環頻率和最小熱應力提供了更高的精度.9240-03211用戶友好,具有提供直觀控制系統的觸摸屏界面。它帶有可定制的配方、多語言接口和遠程操作功能。AMAT/APPLIED MATERIALS 9240-03211還具有安全功能,包括過壓互鎖和幹氣壓開關。此外，反應堆有一個電離真空計，為用戶提供準確的腔室讀數，以及用於錯誤檢測和預防性維護的診斷工具。總體而言，AMAT 9240-03211反應堆是生產高質量、精密半導體器件結構的絕佳工具。其先進的溫度控制和自動化過程使其成為各種CVD過程的理想選擇。它提供了用戶友好的界面、可定制的配方以及各種安全功能,以提高半導體制造的精度和控制能力。