二手 AMAT / APPLIED MATERIALS A600 #9315959 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS A600是一種先進的等離子體工藝反應器，用於各種半導體制造工藝。它是一種高產反應堆，過程可靠性高，可重復性高，用於大批量制造（HVM）環境。AMAT A600能夠為各層創造最多樣化的薄膜結構，使其成為半導體制造的理想工具。APPLICED MATERIALS A600是一個獨特的室內設計，允許開放式淋浴設計和開放式工藝概念。這種腔室設計能夠簡單地安裝各種工藝模塊，方便高效的維護，並保證與最新工藝模塊的兼容性，如多源PECVD和硬烤PECVD。開放式淋浴頭設計還確保整個晶片上的薄膜均勻性，包括中心和邊緣。A600過程反應器包括高性能射頻發生器和60MHz頻率。這樣可確保對軟烘烤和硬烘烤工藝的功率進行精確控制,從而實現高沈積速率和高長寬比工藝的高步長覆蓋。AMAT/APPLICED MATERIALS A600具有獨特的雙設備設計,每個系統由一個射頻源組成,可確保整個晶圓的過程結果準確無誤。除了令人印象深刻的優勢之外，AMAT A600還包括一個獨特的單元特性，能夠分析腔室壓力，使反應堆能夠提高工藝一致性。此外，這一特征可用於監測外部泄漏的早期發生，以便及早發現和糾正情況。總之,APPLICED MATERIALS A600是一系列半導體制造工藝的理想解決方案.它的高級功能,包括高性能射頻發電機和開放式淋浴臺設計,以及可靠的過程控制和壓力分析機,都是為了確保在一系列過程中獲得可重復和可靠的結果而設計的。這使得A600成為制造各種半導體產品的絕佳工具。