二手 AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 1600A #293615967 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 1600A是一種創新和高度可靠的垂直幹蝕刻反應堆。它被用於對包括矽（Si）、砷化氙（GaAs）等多種半導體材料進行等離子體蝕刻、等離子體灰化、碳膜蝕刻等幹蝕刻工藝。該反應器設計為進行高長寬比蝕刻，選擇性高，均勻性高。AMAT/AKT 1600A提供了一個重要的功能組合,包括廣泛的工藝範圍、大型的工藝室、先進的運動控制和速度以及卓越的陣列功能。反應堆裝有高分辨率的飛行時間蝕刻，能夠在不同蝕刻過程中精確控制離子束。先進的數字控制邏輯和多種排氣配置提供了涵蓋蝕刻深度、蝕刻速率和選擇性要求的多種過程。AMAT 1600A提供了非同尋常的流程可重復性和低擁有成本。基於最新數字IGBT技術的內置可編程控制器確保了對工藝參數的卓越控制。反應堆還配備了Z-步進電機和用於先進運動控制的Rotocage。板載控制器包括用於驗證蝕刻速率、選擇性和均勻性的雙點測試功能。應用MATERIALS/1600A反應堆具有出色的設計特點、性能和成本效益。它是行業領先的蝕刻反應堆，用於對各種半導體材料進行高精度加工。其優越的圖案、可重復性和選擇性能力使其成為半導體制造中蝕刻任務的理想選擇。其先進的數字控制邏輯和多重排氣配置使其成為優化離子束過程的理想選擇。簡而言之，APPLIED MATERIALS 1600A是一種先進的反應堆，旨在提供卓越的蝕刻性能、成本效益和卓越的工藝能力。