二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AKT-25K #293604834 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AKT-25K是一種先進的、高性能的垂直等離子體反應性離子蝕刻（RIE）反應器，設計用於半導體生產過程。這一先進的系統能夠提供幹凈、高質量的過程均勻性和關鍵維度（CD）控制。針對提高產量和提高蝕刻率均勻性進行了優化。AMAT AKT-25K支持多種材料，包括陶瓷、金屬和氧化物，可用於氣相或液體過程。該系統采用加速器控制和過程魯棒性，針對高速和精度進行了優化。它還旨在方便地與其他系統和流程集成。APPLICED MATERIALS AKT-25K的高速垂直架構使其能夠支持高通量的應用，具有一個可並行處理多達4個晶圓的工藝室。垂直布局提供了更短的傳輸時間,有助於保持過程的均勻性,並減少晶片與晶片碰撞造成損壞的可能性。AKT-25K由先進的電源提供動力,可以配置為優化工藝質量和電源效率,從而能夠精確處理各種材料和各種工藝。它還包括多個氣體控制系統，允許用戶輕松控制多個過程。AMAT/APPLIED MATERIALS AKT-25K包括許多安全功能,如接地故障、氣體泄漏和電弧檢測,以防止過程損壞,互鎖系統以防止意外的交叉通信和易於集成,以及自動晶圓卸載保護。它還具有用戶友好的GUI,使用戶能夠快速輕松地設置和管理復雜的流程配方。總體而言，AMAT AKT-25K是一種先進的高性能反應堆，設計用於半導體生產應用。它通過優化的電源和氣體控制系統、安全功能以及用戶友好的GUI提供了強大的流程。其先進的垂直體系結構允許對各種材料進行快速、準確的處理,其過程吞吐量功能使其成為高吞吐量應用程序的理想選擇。