二手 AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 3500 SC PECVD #9011154 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 3500 SC PECVD是一種下一代生產反應堆，設計用來生產非常薄的介電等材料的薄膜。該反應堆利用一種稱為等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）的工藝，在玻璃、塑料和金屬等基板上制造出高質量、低成本的薄膜。反應堆設有低壓等離子體室，分為真空和化學反應的四個不同的室。它還含有磷和氮的沈積源，使用戶可以沈積氧化矽等薄膜。等離子體室配有氟龍射頻源，使沈積溫度較低，以保證優秀的薄膜性能和基板相容性。總腔室體積也減少了薄膜中的空隙，意味著即使薄膜沈積時，薄膜也能提供優異的電性能以獲得最佳性能。反應堆設有一個創新的、集成的、完全受控的源氣體輸送設備，允許用戶為各種應用定制薄膜前體。該系統還旨在最大限度地提高氣體利用率和降低工藝成本。此外，反應堆包括一個自動清洗序列，以去除有機材料，提供清潔，幹燥的過程室可重復過程運行與均勻膜。AKT 3500 SC PECVD能夠生產最小厚度為0.2微米的薄膜。反應堆還配備了反應性氣體註入單元，允許精確控制沈積參數，包括薄膜光學密度和組成。這臺機器最大限度地提高了膠片質量,提高了膠片在基材上的均勻性.總體而言，AMAT 3500 SC PECVD是一種先進的生產反應堆，旨在創造具有改進的均勻性、厚度和電性能的高質量薄膜沈積。該反應堆利用先進技術減少排放和成本，從而提高生產能力。由於其自動化系統和精確的源控制，反應堆為薄膜沈積工藝提供了可靠、高效和經濟高效的解決方案。