二手 AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 4300 #9383296 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 4300是一種等離子體蝕刻沈積反應器，具有水平定向的單晶片工藝室。它能夠在高通量下進行蝕刻、沈積和高密度等離子體（HDP）工藝，具有良好的重復性和過程控制。AKT 4300是一種生產就緒反應堆，具有執行廣泛工藝應用的能力，如單、多步蝕刻沈積工藝。它使用多種工藝氣體，包括氦氣、氮氣、氙氣和氯氣。先進的氣體控制設備可確保整個過程室的等離子體化學控制精確且可重復。反應堆采用了最先進的等離子體生成、監測和控制技術。磁性等離子體限制系統具有良好的過程均勻性和控制性，而先進的晶圓運動控制單元則確保了晶圓的精確傳輸和處理。集成過程控制機會根據變化的情況自動調整參數。該反應堆采用先進的PECVD工藝，支持高端Si和SiGe摻雜，用於苛刻的等離子體蝕刻和高密度等離子體（HDP）應用。它還具有並行操作的能力，映射RIE與淺海溝隔離（STI）應用。反應堆配有原位電容耦合等離子體（CCP）源，提供優異的工藝性能。該反應堆可承受高溫高壓，設計用於大批量生產環境下的全天候運行。它可以容納直徑最大8英寸的晶片,並以200 W/cm的速度加工它們。它還結合了先進的真空和壓力控制系統，以確保可重復、無故障的操作。AMAT 4300是一種高度通用的反應堆，滿足先進設備制造的需要。利用各種化學方法進行蝕刻和沈積的能力提供了出色的工藝能力，使用戶能夠開發和改進各種設備結構和工藝。由於其先進的設計和先進的過程控制工具,4300可以為先進的設備制造提供更好的吞吐量、可重復性和過程控制。