二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AKT-55k #9237806 待售
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ID: 9237806
PECVD System
Generation: 8.5
Dual single slot loadlock (Loading, cooling, unloading)
Transfer chamber
(3) Process chamber
Master cluster controller
Remote support system:
RF Generator
Pump
Abatement
Heat exchanger
Remote plasma
Substrate size: 2200 mm x 2600 mm
(3) Susceptor: Temperature<230°C
(2) Loadlock: DSSL
Vacuum robot: Dual arm
(3) RPSC: MKS
(3) Abatement
EDWARDS Pumps:
(7) iH1800
(3) iF30K
RF Generator:
(3) 13-14MHz (15kW)
(4) 40MHz (4kW)
(3) Gas panels: NF3, Ar, SiH4, H2, PH3, B2H6
Loader: Manual loader.
AMAT/APPLIED MATERIALS AKT-55k反應堆是一種工業級反應器室，旨在促進受控反應堆環境中各種化合物的合成。它是一個密封容器，其中各種反應輔料被混合反應形成新的化合物，並且能夠維持高達1,000 °C的溫度。該腔室由幾個模塊化組件組成，包括冷外壁、反作用室和活性部件。冷外墻是由不銹鋼制成的雙壁外殼，作為整個單元的非反應性外殼。外殼內為反應室，反應過程在此發生。腔室內襯耐火材料,可容納55千克材料。反應堆的活動部件包括氣體處理設備、溫度控制系統、壓力控制單元和流體傳遞機。氣體處理工具以天然氣為燃料來源產生所需的溫度，而溫度控制資產則優化溫度以滿足所需的反應條件。同樣，壓力控制模型管理反應堆內部的壓力水平，流體傳遞設備管理送入反應堆的材料。該系統還配備了一系列安全功能，以確保人員和設備的最佳性能和安全。防爆防火器可防止容器內發生爆炸。一個減壓閥也包含在單元中，以在反應失控的情況下排出多余的壓力。還包括惰性氣體供應線，以防止反應性物質引起危險反應。該反應堆非常適合各種不同的應用，包括化學合成、冶金或化工廠操作、石化精煉以及新材料的測試和表征。這種價格合理的設備可提供高效和受控的性能,並可集成到各種工業操作中。
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