二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9134810 待售
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已售出
ID: 9134810
Frame
(1) Pre clean chamber only (Ch# C,D) 2Ch
Loadlock Narrow / Auto
Buffer robot HP robot assy / 8" blade pivot assy
Transfer robot HP robot assy / 8" blade pivot assy
Ch#A pass 8" pedestal
8" Base
8" Lift hoop assy
Ch#B Cool 8inch Pedestal
8" Base
8" Manifold
8" Lift hoop assy
Ch#E Orient Degas 8" Orient / Degas assy (Degas lamp module missing)
Ch#F Orient Degas 8" Orient / Degas assy (Degas lamp module missing)
Ch#C PCII:
8" PCll assy
CPS 1001S
Ch#D PCII:
8" PCll assy
(2) 9600 Compressors
(2) 3P AC Controllers
(1) 25ft set of cables
(1) System Rack #1 (Components all Missing)
(1) Gen Rack #1
(1) Edwards QDP40 dry pump
Main AC is missing
1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是為廣泛的先進材料處理應用而設計的高功率反應堆設備。AKT Endura 5500采用了最先進的設計,可實現高吞吐量和過程靈活性。該系統提供了使用射頻源同時為多個處理室供電的功能,並且可以由LP-GF14源或ICP-GF14源供電。該機組獨特的設計允許氣體分配和氣體流量調節的高速。該工藝室被封閉在一個熱穩定的真空容器中，該容器具有石英窗，可進入工藝室進行晶圓、感光器和樣品檢查。腔室內襯CVD塗層燒蝕材料，確保最大性能和可靠的工藝控制。該腔室還可以安裝一個可選的車載紅外攝像頭，以提供對工藝平面參數的實時監控。AMAT ENDURA 5500配備了嵌入式過程控制軟件包,可輕松創建配方和記錄數據。使用圖形用戶界面設計工藝配方,使用戶能夠輕松地可視化用於成功沈積速率的參數和配方。AMAT Endura 5500先進的電子控制也提供了卓越的過程重復性和性能質量。快速脈沖特性可實現快速片狀電阻和薄膜厚度控制,而微調調整則可實現氧化物沈積比優化等特定特性。集成的數據記錄包存儲詳細的流程數據。此外，AKT ENDURA 5500采用集成離子束清潔技術進行基板調節，結合集成清潔氣體輸送需求，提供了工藝沈積前從晶片中清除汙染物的優化方法。Endura 5500是一款多用途的工具，適合廣泛的先進材料加工需求。它提供了一臺可靠、高性能的機器,具有各種流程集成功能,旨在最大限度地提高流程性能質量並降低刀具的復雜性。應用材料ENDURA 5500是任何先進材料加工需求的理想選擇。
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